篇名 | 陰極電弧沈積氮化鋁鈦/氮化鉻奈米多層薄膜之開發與應用 |
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卷期 | 1:2 |
並列篇名 | Synthesis and Applocation of TiAIN/CrN Multilayered Coatings by a Cathodic Arc Deposition Process |
作者 | 汪大永 、 張銀祐 、 洪志穎 |
頁次 | 1-6 |
關鍵字 | 硬質鍍膜 、 物理氣相沉積 、 陰極電弧沈積 、 Hard 、 Physical vapor deposition 、 Cathodic arc evaporation |
出刊日期 | 200509 |