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科學與工程技術期刊

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篇名 陰極電弧沈積氮化鋁鈦/氮化鉻奈米多層薄膜之開發與應用
卷期 1:2
並列篇名 Synthesis and Applocation of TiAIN/CrN Multilayered Coatings by a Cathodic Arc Deposition Process
作者 汪大永張銀祐洪志穎
頁次 1-6
關鍵字 硬質鍍膜物理氣相沉積陰極電弧沈積HardPhysical vapor depositionCathodic arc evaporation
出刊日期 200509

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