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科學與工程技術期刊
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| 篇名 | A Scalable Split-Gate Flash Memory Cell Structure and Its Contactless Flash Memory Arrays |
|---|---|
| 卷期 | 1:1 |
| 並列篇名 | 一種可微縮化分閘式快閃記憶細胞元結構及其無接點快閃記憶陣列 |
| 作者 | 吳慶源 |
| 頁次 | 5-16 |
| 關鍵字 | 快閃記憶體 、 分閘式 、 側邊牆介電墊層 、 無接點快閃記憶陣列 、 嚴謹罩幕步驟 、 漂浮閘 、 Flash memory 、 Split-gate 、 Sidewall dielectric spacer 、 Contactless flash memory array 、 Critical mask steps 、 Floating gate |
| 出刊日期 | 200506 |