篇名 | 表面活化技術在低溫金-金接合之研究 |
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卷期 | 28:1 |
並列篇名 | Low Temperature Au-Au Interconnection by Surface Activated Method |
作者 | 陸蘇財 、 林耀生 、 黃昱瑋 |
頁次 | 033-042 |
關鍵字 | 表面活化接合 、 奈米界面接合 、 低溫接合 、 Au-Au interconnection 、 Low temperature bonding 、 Surface activated bonding |
出刊日期 | 200603 |