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篇名 原子層沉積應用在三族氮化物之生長
卷期 29:1=159
並列篇名 The Application of Atomic Layer Deposition for the Growth of Ⅲ-Nitrides
作者 呂東原 、 林泰源 、 龔志榮
頁次 26-32
出刊日期 200708

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