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科儀新知

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篇名 以電子顯微鏡為基礎之電子束曝光機的改裝與應用
卷期 26:6=146
並列篇名 Scanning-Electron-Microscope-Based E-Beam Writer and Its Applications in the Fabrication of Nano-Electronic Devices
作者 陳啟東 、 吳憲昌
頁次 63-72
出刊日期 200506

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