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先進工程學刊

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篇名 化學氣相沉積鑽石薄膜經氫氣與氧氣電漿處理之磨耗與腐蝕性質
卷期 3:3
並列篇名 Wear and Corrosion Properties of HFCVD Diamond Films after Hydrogen and Oxygen Plasma Treatment
作者 李正國陳慶鴻吳東益
頁次 187-192
關鍵字 熱燈絲化學氣相沉積法拉曼光譜儀X光繞射奈米壓痕分析儀Hot filament chemical vapor depositionRaman spectrometerX-ray diffractionNano-indentation
出刊日期 200807

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