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界面科學會誌
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| 篇名 | 鎳金屬奈米點陣與矽晶基材間界面反應之研究 |
|---|---|
| 卷期 | 28:1 |
| 並列篇名 | Interfacial Reactions of Nickel Nanodot Arrays on Silicon Substrates |
| 作者 | 鄭紹良 、 呂紹瑋 、 陳暉 |
| 頁次 | 55-62 |
| 關鍵字 | 奈米球微影術 、 矽化物 、 界面反應 、 奈米點陣 、 Nanosphere lithography 、 Silicide 、 Interfacial reaction 、 Nanodot array |
| 出刊日期 | 200603 |
本卷期文章目次
- Electrochemical Copper Metallization and Interface Adhesion Measurement for ULSI Application / 張守一、林樹均
- 氮化鎵基板上成長氧化鋅奈米線 / 曾永寬、林延儒、許正良、蔡健益、張守進、郭忠義、陳一誠
- 覆晶構裝：電鍍鎳、電鍍銅和無電鍍鎳(磷)阻障層與無鉛錫球接點之界面反應研究 / 張恕銘、汪若蕙、劉道奇、胡旭添、陳國銓、陳俞坊、陳裕華
- Review Paper Copper Wafer Bonding: Interface Analysis and Characterization / 陳冠能、Reif, Rafael
- 表面活化技術在低溫金-金接合之研究 / 陸蘇財、林耀生、黃昱瑋