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冷凍空調＆能源科技
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中文摘要
在高科技半導體製程技術的不斷發展下，電晶體元件線寬早已進入奈米等級，對於製程環境
之潔淨需求將日趨嚴苛。為了提升產品良率與製程可靠度，目前普遍做法則在外氣空調箱或潔淨
室內FFU與機台內部加裝化學濾網(Chemical Filter)來濾除微量氣態分子污染物(Airborne Molecular Contaminants, AMCs)。然而隨著氣態污染物種類的不同，外氣空調箱內所裝設的化學濾網甚至可多達三道，來濾除各種有機性、酸類、鹼類等氣態分子污染物質，而此時化學濾網阻抗特性，勢必影響空調箱的運轉耗能，本文藉由化學濾網的阻抗特性，與實際量測外氣空調箱中之耗能變化，來了解化學濾網阻抗大小對空調箱運轉耗能與節能效益。