文章詳目資料

光連 ： 光電產業及技術情報

  • 加入收藏
  • 下載文章
篇名 非接觸式多孔性氣浮平臺技術介紹
卷期 78
作者 李有璋 、 余欽章 、 蔡瑞益
頁次 45-50
關鍵字 TFT-LCD面板 、 玻璃基板 、 非接觸式多孔性氣浮平臺
出刊日期 200811

中文摘要

英文摘要

本卷期文章目次

查看更多

關鍵知識WIKI

相關文獻