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防蝕工程 EIScopus
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| 篇名 | 光電化學蝕刻製作矽質微米連續壁結構 |
|---|---|
| 卷期 | 19:3 |
| 並列篇名 | Formation of Macro-wall Array on Silicon by Photo-electrochemical Etching |
| 作者 | 林景崎 、 陳威宇 、 賴建銘 、 鄭文達 、 陳韋旭 |
| 頁次 | 351-359 |
| 關鍵字 | n-型矽 、 光電化學蝕刻 、 連續壁 、 陽極極化曲線 、 N-type silicon 、 Photo-electrochemical etching 、 Macro-wall array 、 DC-potentiodynamic polarization 、 EI |
| 出刊日期 | 200509 |