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防蝕工程 EIScopus

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篇名 氮化鋯鍍膜在氮氫混合氣氛退火後之劣化研究
卷期 18:4、18:4
並列篇名 Degradation of ZrN Films Annealed in Forming Gas
作者 羅文政 、 詹佩諠 、 呂福興
頁次 415-422
關鍵字 氮化鋯 、 退火 、 劣化 、 應力 、 ZrN 、 Annealing 、 Degradation 、 Stress 、 EI
出刊日期 200412

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