篇名 | 微陽極導引電鍍法製作微銅柱之研究 |
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卷期 | 20:3 |
並列篇名 | Research of Fabricating Copper Microcolumn by Micro Anode-guided Electroplating |
作者 | 林景崎 、 江士標 、 張庭綱 、 黃聖原 |
頁次 | 233-240 |
關鍵字 | 微陽極導引電鍍 、 微銅柱 、 Micro anode-guided electroplating 、 MAGE 、 Copper microcolumn 、 EI |
出刊日期 | 200609 |