篇名 | Characteristics of Stripping TiN Coating by Chemical Solution Method |
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卷期 | 20:3 |
並列篇名 | 氮化鈦陶瓷硬質薄膜化學退鍍之特性研究 |
作者 | 張奇龍 、 李淑滿 、 何偉友 、 汪大永 |
頁次 | 273-278 |
關鍵字 | 氮化鈦 、 剝除 、 蝕刻速率 、 陰極電弧蒸鍍 、 TiN coating 、 Stripping 、 Etching rate 、 Corrosion 、 Cathodic arc evaporation 、 EI |
出刊日期 | 200609 |