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防蝕工程 EIScopus

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篇名 Corrosion Investigation of Diamond Disk Conditioner in the Slurry of Chemical Mechanical Polishing
卷期 20:2
並列篇名 鑽石修整器在化學機械拋光溶液中之腐蝕研究
作者 譚安宏 、 鄭穎駿 、 李正國 、 周呈祥 、 宋健民
頁次 163-168
關鍵字 腐蝕 、 化學機械拋光 、 鑽石修整器 、 Corrosion 、 CMP 、 Diamond disk conditioner 、 EI
出刊日期 200606

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