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表面工業雜誌

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篇名 TiN 覆膜上表面氧化膜之研究
卷期 76
作者 王永康 、 雷廷權 、 夏立芳 、 李炳生 、 顧曉紅 、 王偉民
頁次 11-13
關鍵字 物理氣相沉積 、 覆膜 、 表面分析
出刊日期 199902

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