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科學與工程技術期刊
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| 篇名 | 氮化鋁薄膜表面結構及感測特性之研究 |
|---|---|
| 卷期 | 4:1 |
| 並列篇名 | Structure and Sensing Properties on a Thin AlN Film |
| 作者 | 江榮隆 、 黃安立 |
| 頁次 | 73-79 |
| 關鍵字 | 射頻濺鍍 、 氮化鋁 、 氧化銦錫玻璃 、 場發射掃描式電子顯微鏡 、 氯離子 、 R.f. sputtering 、 AlN 、 ITO glass 、 FE-SEM 、 Chlorine ion |
| 出刊日期 | 200803 |
| 篇名 | 氮化鋁薄膜表面結構及感測特性之研究 |
|---|---|
| 卷期 | 4:1 |
| 並列篇名 | Structure and Sensing Properties on a Thin AlN Film |
| 作者 | 江榮隆 、 黃安立 |
| 頁次 | 73-79 |
| 關鍵字 | 射頻濺鍍 、 氮化鋁 、 氧化銦錫玻璃 、 場發射掃描式電子顯微鏡 、 氯離子 、 R.f. sputtering 、 AlN 、 ITO glass 、 FE-SEM 、 Chlorine ion |
| 出刊日期 | 200803 |