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科學與工程技術期刊
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| 篇名 | Deep Ultraviolet-Assisted Photo-Electro-Chemical Wet Etching of N-Type GaN |
|---|---|
| 卷期 | 3:3 |
| 並列篇名 | 以深紫外線輔助對N型氮化鎵做光電化學濕式蝕刻 |
| 作者 | 黃俊達 、 楊國輝 、 許乃偉 、 郭侑鑫 、 張正弘 、 李容原 、 詹前茂 |
| 頁次 | 61-65 |
| 關鍵字 | 光電化學蝕刻 、 氮化鎵 、 氚氣燈 、 Photocurrent 、 Photo-electro-chemical etching 、 GaN 、 Deuterium lamp |
| 出刊日期 | 200709 |