篇名 | 偏壓輔助成核對多晶CVD鑽石成長之影響 |
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卷期 | 3:1 |
並列篇名 | The Effects of Bias-Enhanced Nucleation (BEN) on the Growth of Polycrystalline CVD Diamond Films |
作者 | 李世鴻 、 焦繼葳 |
頁次 | 1-8 |
關鍵字 | 偏壓輔助成核 、 微波輔助化學氣相沉積 、 多晶鑽石 、 Bias-enhanced nucleation 、 BEN 、 Microwave-assisted chemical-vapor deposition 、 MACVD 、 Polycrystalline diamond |
出刊日期 | 200703 |