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防蝕工程 EIScopus
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| 篇名 | Cr-Si-N奈米複合薄膜之抗腐蝕性質研究 |
|---|---|
| 卷期 | 24:4 |
| 並列篇名 | The Study of Corrosion Resistance in Cr-Si-N N anocomposite Thin Films |
| 作者 | 林意彬 、 張育銓 、 郭裕竹 、 李志偉 、 王朝正 |
| 頁次 | 221-228 |
| 關鍵字 | 脈衝直流磁控濺鍍 、 Cr-Si-N奈米複合薄膜 、 腐蝕 、 Corrosion resistance 、 Cr-Si-N nanocomposite thin films 、 Pulsed DC reactive magnetron sputtering 、 EI |
| 出刊日期 | 201012 |
中文摘要
氮化鋁薄膜具有優秀的機械性質與抗腐蝕能力，常被鍍製於模具表面上，以增加使用壽命;而在氮化銘薄膜中添加適量的矽元素，文可以有效提高薄膜之機械愷質，然而其抗腐蝕性質則尚未有深入探討。因此本研究將採用反應式雙極非對稱脈衝直流磁控i賤鍍法沉積不同合矽量之Cr-Si-N奈米複合薄膜，並分別於3.5wt%氯化訥水溶液中進行抗腐蝕性質 的研究，再利用SEM觀察薄膜經過腐蝕之後的表面與截面形貌變化，並使用EDS分析試樣表面之成分變化，t)、探討矽含量對1J�Cr-Si-N薄膜抗腐蝕性能的影響。本研究發現。Cr-Si-N 薄膜可有效提昇SKD61模具鋼之抗蝕性，而Cr-Si-N薄膜在氯化鍋水溶液的抗腐蝕能力也隨著矽含量增加而提昇'此一性質與高矽含量薄膜截面呈現無特徵的微結構相關，本研究並根據薄膜腐蝕產生之剝落現象提出可能之腐蝕損壞機制。