潔淨室為產生均一化的溫度分佈和稀釋污染源的生產環境，除非因應特別需求之高潔淨度潔淨室，大部分採用非單一方向流系統，但實務上製程機台本身產熱及製造過程所產生的細微粒子伴隨著自然熱浮力上昇及機台散熱風扇上送氣流與F F U 向下吹送的潔淨氣流互相衝突向周圍擴張使製程污染威脅性提升。為解決此難題，本研究開發在地化氣流分佈系統，此系統由風車結合乾盤管(Dry Coil)之單體，吾人稱之FDCU(Fan Dry Coil Unit)，設置於潔淨室天花板並置於製程機台正上方，直接引導室內之發塵及發熱經過乾盤管及過濾網來進行降溫除塵，以此方法維持潔淨室潔淨度且有效移除機台對周圍環境造成之熱負荷。對於FDCU回風系統已有初步研究成果，研究結果顯示FDCU 系統相較於傳統牆回風系統可有效移除潔淨室內至少33% 以上的污染物[1] ，且透過FDCU 系統能使供風層維持正壓，避免外氣洩入，造成室內恆溫恆濕失控與增加能源消耗。本文將以相同潔淨室系統為基石，利用超音波風速計量測潔淨室流場，研究FDCU 系統在不同供風層壓力下潔淨室內速度場、紊流強度，更與傳統牆回風方式比較潔淨室內溫度分佈變化與流場特性。研究結果顯示FDCU 回風形式相較於牆回風形式能提供較佳的污染物移除流場；在潔淨室內有高發熱源情形下相較於牆回風形式能提供較佳的溫度分佈。