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三聯技術

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篇名 MEMS 商規慣性於人機互動運用
卷期 90
作者 陳永裕
頁次 026-030
出刊日期 201312

中文摘要

於過去幾十年來,高價(>百萬美金)且大型(>1m3)之戰略級慣性元件:加速度計及陀螺儀,常被運用於飛彈,飛機,水下載具與船艦進行載具定位與姿態偵測/辨識。然而,至目前為止,相關科技均掌握在科技大國手上,如美、俄、中國等。近幾年來由於微機電(MEMS)技術的大幅度精進,以MEMS商規加速度計來看,目前平均產品價格(ASP)已降至1美元以下,而業界人士分析,在2015年時,加速度計將來到0.5美元,最終會至0.3美元才會至谷底。而陀螺儀以InvenSense為例,該公司宣佈量產一系列整合式雙(dual-axis)陀螺儀,目標價格於2010年每個低於2美元,或者每軸價格不到1美元。圖一為低價微電式陀螺儀的市場應用規模預測。
而MEMS加速度計與陀螺儀(Gyroscopes)製程技術的日益成熟除了使得元件價格逐漸平民化與元件體積大幅度降低(<0.04cm3),如圖二。此一MEMS製程技術的成長,促使了原本與一般生活有一大段距離的加速度計與陀螺儀進入我們的日常生活中,而且此現象也已於開始成形,最典型的例子為智慧型手機系統MEMS 商規慣性元件的直接內嵌並列為必備之系統元件,如 iphone, HTC, Samsung, LG, 與 Sony等國際大廠出產之手機。雖說,MEMS製程技術縮小了元件體積提供了應用的契機且國際大廠的大量使用,提供了MEMS 商規慣性元件的應用機會,但因MEMS商規慣性元件相較於戰略等級之慣性元件存在了更高之量測雜訊約 >千倍差異,因此在實際應用上仍有相當大之困難,故現階段雖然iphone, HTC, Samsung, LG, 與Sony等國際大廠將之列為必備之系統元件,但仍無法有效用MEMS商規慣性元件使之發揮真正之應用價值。故如能突破/抑制高量測雜訊的影響,背後隱藏之商機勢必相當驚人。

英文摘要

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