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化工
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中文摘要
本實驗室藉由旋轉塗佈或滴鑛方式將非對稱型聚苯乙烯聚氧乙烯雙團聯共聚物(polystyrene-b-poly (ethylene oxide),PS-b-PEO)在矽晶基材上成膜，並結合溶劑退火調控薄膜圓柱形微相分離結構並進一步調控大範圍有序排整。並利用掠角式小角度X光散射技術和原子力電子顯微鏡探討成膜方法及溶劑揮發誘導對垂直式圓柱形微結構陣列之影響。其結果顯示以旋轉塗佈或是滴鑛方式成膜，在溶劑蒸氣環境中蒸鍍退火後，在薄膜表層形成垂直型圓柱微結構陣列。進一步利用氧式電漿蝕刻薄膜表層，並利用原子力電子顯微鏡観察薄膜內部結構，可發現由於PEO鏈段容易在含有氫氧基矽基材上形成一層潤濕層，使得高分子膜在靠近基材表面上，其內部微結構排向由垂直式陣列轉變為水平式圓柱陣列。