本文展示數種柴式法生長太陽能矽晶棒的熱場設計與分析,並在中美矽晶公司的Kayex CG6000機台做生長實驗的結果。結果發現在沒有犧牲晶體品質的前提下,長晶時所使用的功率以及氬氣使用量明顯地降低,而晶體拉速郤可以大幅地增加。值得注意的是,經由適當的熱場設計,晶體的氧含量重大為降低,造成載子壽命增長。氧的軸向濃度分佈不均,也籍由模擬與實驗的結果發現,可以將石英坩堝的轉速設定成隨著時間逐漸增快的方式加以改進。
客服管道: +加入LINE 好友 即時聯繫客服 E-mail: service@hyread.com.tw hyweb 凌網科技 版權所有 Hyweb Technology Co., Ltd.© 2018 All Rights Reserved.