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化工

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篇名 利用電腦模擬對矽單晶提拉之熱場分析與應用
卷期 54:5
作者 黃禮翼藍崇文
頁次 029-042
出刊日期 200710

中文摘要

本文展示數種柴式法生長太陽能矽晶棒的熱場設計與分析,並在中美矽晶公司的Kayex CG6000機台做生長實驗的結果。結果發現在沒有犧牲晶體品質的前提下,長晶時所使用的功率以及氬氣使用量明顯地降低,而晶體拉速郤可以大幅地增加。值得注意的是,經由適當的熱場設計,晶體的氧含量重大為降低,造成載子壽命增長。氧的軸向濃度分佈不均,也籍由模擬與實驗的結果發現,可以將石英坩堝的轉速設定成隨著時間逐漸增快的方式加以改進。

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