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篇名 開發電漿輔助高溫原子層沉積系統應用於紫外發光二極體
卷期 131
作者 卓文浩
頁次 001-001
出刊日期 201510

中文摘要

能源科技是目前世界各國爭相研究的項目,隨著人口的增加、資源的減少以及環保意識的抬頭,替代能源與節能減碳 為未來研究的主流。為推動我國綠能科技發展,本中心「光學系統整合研發聯盟」橋接全球最大 LED 晶片廠晶元光電、 中央大學薄膜技術中心及本中心 ALD 團隊等三方產學研技術能量,取得科技部中部科學工業園區管理局高科技設備前瞻 技術發展計畫支持,共同執行「開發電漿輔助高溫原子層沉積系統應用於紫外發光二極體」計畫,將先進材料石墨烯應用 於紫外光發光二極體 (UV-LED) 的製造技術。

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