文章詳目資料
化工
加入收藏
下載文章
中文摘要
電子迴旋共振（electron cyclotron resonance ， ECR) 電漿技術是在 20 世紀六十年 代中期開始[1-2]，首先以核融合方面的應用 為目的而開發的[3-5]，後來在80年代由曰 本NTT公司提出應用於半導體工業後， 受到廣泛的注意，而後在薄膜的蝕刻、薄膜 沈積、及摻雜等多種半導體製程中發展其廣 泛應用°作為該技術核心的電子迴旋共振電 漿是一種新型的低溫電漿，具有低工作壓力 (10_4〜KT1 torr)、低蒸鍍溫度、低離子 能量、高氣體解離度、高電槳密度（1011 〜1013 cm-3 )、且可獨立控制離子通量與離 子能量和對基板損傷比較低等優點。此外， ECR是一種無電極的電漿系統，因此在系 統中不需要陰極燈絲，可避免雜質污染。