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儀科中心簡訊
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今年度「國家實驗研究院傑出科技貢獻獎」本中心以「以原子層沉積技術製備高反應性氮化銅奈米晶燃料電池觸媒」 獲得學術研究類佳作獎，另外以「太空光學元件與光機系統研發」獲得技術發展類優等獎。
本中心之原子層沉積鍍膜 (atomic layer deposition, ALD) 研究團隊為國內唯一同時從事先進 ALD 製程設備與材料製 程開發之研究單位，自 2004 年以來已成功開發各種晶圓尺寸 ALD 與 PEALD 設備平台，研製各種氧化物、氮化物與金屬 ALD 製程，使清華大學、交通大學、中央大學、中山大學、元智大學、逢甲大學與中研院等研究團隊，透過本平台取得先 進 ALD 設備與材料製程。