本研究採用鎳網為基材，利用射頻磁控 濺鍍法與電泳沉積法製作電化學電容器電 極-利用碳材料的高比表面積與氧化鎳的偽 電容效應來改善超級電容器的電性，希望將 兩種電極材料的特性結合，使氧化鎳/奈米 碳片複合材料電極的電容量能有所提升。首 先利用射頻磁控濺鍍法與電泳沉積法製作電 化學電容器電極，經X射線繞射分析發現 氧化鎳特徵峰，表示成功製備出氧化鎳薄 膜。而由掃描式電子顯微鏡圖中，可發現在 經過表面處理的鎳網基材上沉積氧化鎳薄膜 時，大多數的氧化鎳薄膜呈現奈米顆粒的結 構。 經由電化學量測得知電泳法製備氧化鎳 薄膜由循環伏安量測出來的比電容值為892 Fg_i，而由定電流充放電量測出來的比電容 值為924 Fg_i，濺鍍法製備氧化鎳薄膜由循 環伏安法量測出來的比電容值為1100 Fg—1 , 而由充放電量測出來的比電容值為1009 Fg-1 ，我們推測以濺鍍法製備之氧化鎳薄膜在奈 米碳片上的披覆效果較佳所致。