本研究製備超低介電常數且高機械強度 之奈米管薄膜，此薄膜主要成份為氧化鋁矽 奈米管，同時添加少量成份之PVA高分子。 我們利用溶液相製程將氧化鋁矽奈米管薄膜 均匀塗佈於上有金屬層之玻璃基材上。我們 使用掠角X光散射技術來檢測奈米管於薄 膜中之方向性，同時針對未除水與完全除水 之奈米管進行介電常數的量測。完全除水之 奈米管具有1.05的極低介電常數值，符合超 低介電材料之標準。此外，本硏究製備之奈 米管薄膜具備超過25 GPa之楊氏模數；綜 合此薄膜之介電性質與機械性質，此低介電 薄膜之材料特性優於現行多數高頻之低介電 材料。
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