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篇名 搭載液靜壓軸承之精密車削定心系統
卷期 139
作者 黃建堯
頁次 014-018
出刊日期 201702

中文摘要

本中心四十年來不遺餘力發展精密光機工程技術,並積極協助國內外產學研各界進行儀器技術開發,累積豐富的光機電系統研製能力,近年來更積極投入半導體設備之高精度關鍵組件及系統開發。

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