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科儀新知

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篇名 真空儀器科學與技術研究發展
卷期 210
並列篇名 The Development of Vacuum Instrument Science and Technology
作者 蕭健男
頁次 016-030
出刊日期 201703

中文摘要

本文簡介真空儀器科技相關真空元件、設備、薄膜製程及真空檢校等技術領域之研究歷程並展望未來方向。

英文摘要

The development of vacuum instrument such as device, equipment, thin film process, and vacuum calibration followed by the introduction to future direction in vacuum science and technology was described.

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