台灣相關產業量測低頻振動廣泛使用的感 測器為壓電型及MEMS (Micro Electro Mechanical System)型加速規。低頻振動常使用高精度 MEMS加速規作為地震及監測結構物動態響應 的感測器，目的用於建築結構物健康監測。為 達到高準確度的量測，其使用之振動傳感器需 要透過校正方式得到電壓靈敏度，經由電壓靈 敏度設定才可得到準確的物理量如加速度及 速度。本文依據ISO 16063-21加速規校正方法 中，探討低頻加速規校正之電壓訊號擷取時， 透過最佳之設定將可得到穩定及準確之電壓及 頻率訊號。最後經由加速規之加速度及頻率可 以轉換得到速度的物理量。
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