篇名 | 雙圖樣微影技術之色彩平衡 |
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卷期 | 12:3 |
並列篇名 | Color Balancing for Double Patterning |
作者 | 郭育吟 、 王瑞宇 、 鄭維凱 |
頁次 | 121-125 |
關鍵字 | 雙圖樣微影技術 、 曝光 、 蝕刻 、 雙塗色問題 、 色彩平衡 、 double patterning 、 exposure 、 etch 、 2-coloring problem 、 color balancing |
出刊日期 | 201710 |
雙圖樣微影技術在製程當中,必須分別做兩次不同的曝光及硬遮罩蝕刻。而決定各個矩形(shape)分別屬於哪一個光罩的範圍則是整個技術的主軸。通常雙圖樣微影技術的問題可以轉換為使用兩種顏色的塗色問題。在決定好各個矩形的顏色之後,可以清楚知道:相同的顏色代表是同一層的光罩。本論文中我們開發一雙塗色演算法使矩形的顏色分佈比例趨近一致,進而達到色彩平衡並符合雙圖樣微影技術的製程要求。
In double patterning processing, it must do twice different exposure step and hardmask etch. Moreover, how to decide each shape is belonging to which hard-mask is the kernel problem of this technology. In this paper, we turn this double patterning problem into 2-coloring problem. Furthermore, we show that the shapes with identical color is representing the same hard-mask. We make the distribution of two colors to be as balanced as possible, in order to achieve color balancing and the demands of double patterning technology.