高科技廠於廠房中的環境、設備與管線..等等,均安裝各式的監測系統來確保科技廠房的環境安全與生產線運作正常。簡單的監控系統如:溫度、溼度、空氣中的Particle、管線壓力與流速等等。微振動是影響科技廠房環境的重要因素之一,卻一直無法列入長期監控的項目,其原因為微振資料過於龐大與資料處理的複雜性等問題,導致廠務或監控人員難以入手與熟悉。
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