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| 篇名 | 照明與生醫應用：紫外線發光二極體滅菌測試與使用原子級氣相沉積技術提升可靠度介紹 |
|---|---|
| 卷期 | 167 |
| 頁次 | 013-019 |
| 關鍵字 | 紫外線發光二極體 、 電漿輔助原子級氣相沉積技術 、 可靠度提升 、 病毒滅菌效率 |
| 出刊日期 | 202111 |
中文摘要
紫外線發光二極體是一種高能發光裝置，目前廣為應用在防疫相關上。本文將探討短波紫外線針對不同細菌與病毒滅菌效率探討，並也針對使用使用原子級氣相沉積技術提升可靠度做初步的介紹。原子級氣相沉積是一種可以提供精準控制成長均勻厚度與組成成分的薄膜成長技術，所使用原子級的成長原理是藉由在兩個反應半循環中表面的自我限制吸附現象所完成，其中電漿輔助原子級氣相沉積技術與熱反應式原子級氣相沉積技術在前驅物使用效率、奈米微結構與薄膜成分調整、同步電漿表面處理、與低溫製程有極大的優勢而在半導體與相關產業廣泛的被使用。本文會介紹電漿輔助原子級氣相沉積技術的優勢，並針對產業界所使用原子級氣相層積技術的提升可靠度做說明。