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科儀新知
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我們利用電漿輔助化學氣相沉積法在聚碳酸醋塑膠基材上沉積之薄膜阻氣層:氮化矽(50nm)/氧化矽(50 nm) ，經使用MOCON儀器得知量測之阻氣膜可將水氣透過率降至0βlg/m2/day以下，氧氣透過率降至約0.lg/mVday。為了進一步降低水、氧氣透過率，在此我們加入聚 對二甲萃有機層作為平坦化與缺陷錯閒層，藉由鈣測試法得知，在25°C、相對溼度40%時，雙層之聚對二甲萃/氮化矽薄膜在塑膠基材上的水氣透過率可降至約2X 10-4 g/m2/day。在最佳的條件下，重複堆疊4對之聚 對二甲萃/氮化矽多層鍍膜，經鈣測試法計算後，可將水氣透過率降至7.41X 10-6 g/m2/day。