篇名 | 不同真空度與試片位置對TiCrN鍍膜之機械性質探討 |
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卷期 | 22 |
並列篇名 | An Investigation of Different Vacuum Value and Specimen Position on Mechanical Properties of TiCrN Films |
作者 | 蕭惟隆 、 林忠民 |
頁次 | 101-117 |
關鍵字 | 陰極電弧電漿法 、 靶材 、 氮化鈦鉻薄膜 、 機械性質 、 Cathodic arc plasma deposition 、 Target material 、 TiCrN coating 、 Mechanical property |
出刊日期 | 200911 |